设备详情

SUPRA^TM 55采用了专利的GEMINI镜筒设计和环形IN-LENS SE 探测器，具有束流稳定、分辨率高的特点，能同时进行导电样品和非导电样品的高分辨成像及元素成分分析。

主要功能：

1．肖特基(Schottky)场发射电子源，具有较大的发射电流和极高的稳定性

2．采用专利技术 GEMINI 镜筒，克服传统单极物镜光阑设计缺点，消除磁性影响，同时采用无交叉光路设计，提高了仪器的主要性能

3．采用 Beam booster（电子束加速器），以得到极好的低加速电压性能

4．环形高效 In-lens SE 探测器，具有良好的分辨率和对称性

5．电磁/静电式复合物镜，可对磁性物质进行高分辨成像

主要技术指标：

分辨率：1.0nm @ 15kV

1.7nm @ 1kV

4.0nm @ 0.1kV

放大倍数：12 ~ 900,000x

加速电压：0.1 ~ 30kV

 

配置：

探测器   Inlens二次电子探测器

             E-T 二次电子探测器

          4Q BSD背散射电子探测器

    EDS,WDS一体化无缝分析平台 edx-wdx system

能谱仪EDX
    分辨率Resolution：127.2 eV @ MnKα
    探头晶体面积crystal Aera: 60mm2
    探测元素范围Detection range of elements：Be(4) ~ Fm(100)

 波谱仪WDX
    Θ角范围：14°至 77°，6个衍射晶体架位,包括：
    Fully focusing wavelength dispersive spectrometer using parallel beam
    technology and Θ range from 14° to 77° and six positions for diffractors，incl.
    LIF，PET，TAP，NIC80，MOB4C（Be），WSI60（C,O）
    能量范围 the energy range：65eV- 12 KeV
 BSD系统 EBSD system
    空间分辨率Spatial resolution：Al 20 kV：0.1μm
    取向面分布图最高分辨率4096*4096
    最高在线解析速度: 870Hz (8*8 binning)/s
 Aztec system, TKD model,

 

SUPRA55热场发射扫描电子显微镜广泛用于冶金、生物、建筑、机械等行业的材料形貌观察和分析，如金属、半导体、陶瓷、高分子材料、有机聚合物等。本电镜配备有X射线能谱分析仪和EBSD 背散射电子取向成像系统。

 

EBSD是当今材料特征分析的重要工具，它可以用晶体取向图的形式显示多晶材料的晶体取向和织构。EBSD探测器空间分辨率：Al 0.1?m @20kV；平均角偏差<0.5

应用举例：

 

 

 

 

地点：主楼-168

联系人：何建平

电话：62334713